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パラレル・シーム溶接機

真空オーブン&グローブボックスシステムズ


米国ポラリス社のロングセラー
半導体パッケージの溶接にオススメ


当システムは、半導体用パッケージを真空加熱し、
雰囲気ガス内にてシーム溶接、プロジェクション溶接を行う装置。
世界各国の半導体製造業界において、幅広く利用されております。


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真空オーブン&グローブボックスシステムズ画像

真空オーブン&グローブボックスシステムズの概要

シンプルな操作で、確かな品質。


操作の流れは、真空オーブン内にてパッケージを真空引き加熱させた後、
隣り合わせのグローブボックス内(雰囲気ガス内)で封止溶接を行います。
真空オーブンとグローブボックス間は、インナードアで区切られており、
完全に密封された状態を保ちますので、リークの心配は全くございません。
操作キーも少なく、誰にでも簡単に操作できます。


頑丈で長持ち、作業性を考慮したグローブボックス


グローブボックス外面は、丈夫で長持ちする材質 SUS304 を使用、ボックス内はワイドで作業性も抜群。
ご希望サイズのグローブボックスをご用意することも可能です。
非常停止ボタンの設置など、オプション品の取り付け等も実績があります。


真空オーブン&グローブボックスシステムズの機能

    真空オーブンの操作パネル。    キー操作も簡単。
    真空オーブンの操作パネル。
    キー操作も簡単。
   



■ 真空オーブンの加熱温度は、最大 200℃ まで設定可能。

■ 最高 711mmHg の高真空をキープ。

■ アラーム機能は、万が一、設定した温度よりも昇温してしまった場合、大きなアラーム音で知らせる機能です。
   過昇温シャットオフ機能というオプションで、加熱自体をストップさせることも可能です。

■ 専用のガスチャージング・システムにより、グローブボックス内の圧力を常に均一に保ちます。

■ 当システムで使用するシーム溶接機、またはプロジェクション溶接機につきましては、下記関連商品
   「パラレル・シーム溶接機 ヴィーナス III」「パラレル・シーム溶接機 ヴィーナス IV」
   「バキューム・ウェルダー&シングルステーション・ウェルダ-4100AC/4200CD&5100AC/5200CDシリーズ」
   おススメしております。


真空オーブン&グローブボックスシステムズの仕様

真空オーブン仕様
外形寸法 H1,320mm x W450mm x D650mm
重  量 125 Kg
入  力 208-240V 50/60  40A
オーブン内寸法 H280mm x D280mm x W410mm
オーブン内減圧 MAX  711mmHg
設定温度 MAX  200℃
温度制御方法 PID制御
真空ポンプ重量 11 Kg
断熱材 グラスファイバー

グローブボックス仕様
外形寸法 H1,350mm x W1270mm x D670mm
重  量 145kg
グローブボックス内寸法 H610mm x W1220mm x D610mm
(ご希望の寸法に変更することも可能です)
雰囲気ガス供給 MAX 140L/分
本体材質 SUS304
パスボックス内寸法 H304mm x W406mm x D304mm



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