気泡をシャットアウトし、均一な貼り付け。 ウェハー、ガラス、セラミックや、ペット材など硬いフィルムの取付は、 |
UH114モデルは、加熱式ステージのため、テープの糊むらも無く、サークルカッターがフレームに合わせてテープをカット。
多種多様なワークをはじめ、テープ、フレームに対応すべく調整が可能。作業位置からユーザーによる調節も行えます。
ステージは、お客様のご要望に合わせるべく、オーダーも承っております。
UH115 モデルはセミオートのため、各オペレーターによる品質のバラツキを軽減し、作業時間も短縮できます。
本モデルは、UH115 (6インチタイプ)と、UH115-8(8インチタイプ)をご用意。
■ 従来のフィルムマウンターの持つ最大のデメリットとも言える「テープの剥がれ目に発生する糊ムラ」は、
テープフィード機構がウェハー貼り付け位置から排除します。
■ ウェハーにダメージを与えないよう、ローラーは非接触のまま元の位置に戻ります。
■ 本モデルは、多種多様なテープに対応。伸縮性の無い、ペット材製のフィルムでも使用可能です。
ウェハーの厚さ・フレームの種類に合わせた調節が行え、作業位置から簡単に調整ができ、条件変更も手間いらず。
■ 前方スライド機構により、テープの交換がさらに容易になりました。
■ ウェハは最大8インチまで対応。
■ ローラーの待機ポジションが奥側なので、作業性がより向上。ローラー支持部には、スプリングロード機構を採用しています。
■ フィルムを引き出す際の、タルミやシワは、バックフィルムの巻き取り機構で解消。
■ ウェハ、キャリアフレームは別々に真空チャックするので、位置ずれや表面に傷をつけることもありません。
■ あらゆるキャリア/ダイシングフレームが使用可能。
■ 操作が簡単な、水平カッターと円周カッター。
■ フィルムカットのロスがないエコ設計。フィルムロールの入れ替えも簡単です。
■ 場所をとらないテーブルトップサイズ。どなたでもお使い頂ける、シンプルな操作手順。
入力 | AC100V 3A |
温度制御 | 室温〜200℃ |
真空源 | 300Torr |
寸法 | 6インチタイプ: H220mm x W370mm x D730mm 8インチタイプ: H290mm x W490mm x D780mm |
重量 | 約23kg |