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ウエハ/フィルムマウンター UH114&UH115


気泡をシャットアウトし、均一な貼り付け。
シワ、ムレ、剥がれの心配はご無用です。


ウェハー、ガラス、セラミックや、ペット材など硬いフィルムの取付は、
テープの糊ムラをおこさないUHモデルで楽々に。


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ウエハ/フィルムマウンター UH114&UH115画像

ウエハ/フィルムマウンター UH114&UH115の概要

UH114 : 様々なニーズに対応する使い易いコンパクトサイズ


UH114モデルは、加熱式ステージのため、テープの糊むらも無く、サークルカッターがフレームに合わせてテープをカット。
多種多様なワークをはじめ、テープ、フレームに対応すべく調整が可能。作業位置からユーザーによる調節も行えます。
ステージは、お客様のご要望に合わせるべく、オーダーも承っております。


UH115 : セミオート(半自動)式もご用意


UH115 モデルはセミオートのため、各オペレーターによる品質のバラツキを軽減し、作業時間も短縮できます。
本モデルは、UH115 (6インチタイプ)と、UH115-8(8インチタイプ)をご用意。

■ 従来のフィルムマウンターの持つ最大のデメリットとも言える「テープの剥がれ目に発生する糊ムラ」は、
   テープフィード機構がウェハー貼り付け位置から排除します。

■ ウェハーにダメージを与えないよう、ローラーは非接触のまま元の位置に戻ります。

■ 本モデルは、多種多様なテープに対応。伸縮性の無い、ペット材製のフィルムでも使用可能です。
   ウェハーの厚さ・フレームの種類に合わせた調節が行え、作業位置から簡単に調整ができ、条件変更も手間いらず。

■ 前方スライド機構により、テープの交換がさらに容易になりました。


ウエハ/フィルムマウンター UH114&UH115の機能

■ ウェハは最大8インチまで対応。

■ ローラーの待機ポジションが奥側なので、作業性がより向上。ローラー支持部には、スプリングロード機構を採用しています。

■ フィルムを引き出す際の、タルミやシワは、バックフィルムの巻き取り機構で解消。

■ ウェハ、キャリアフレームは別々に真空チャックするので、位置ずれや表面に傷をつけることもありません。

■ あらゆるキャリア/ダイシングフレームが使用可能。

■ 操作が簡単な、水平カッターと円周カッター。

■ フィルムカットのロスがないエコ設計。フィルムロールの入れ替えも簡単です。

■ 場所をとらないテーブルトップサイズ。どなたでもお使い頂ける、シンプルな操作手順。


ウエハ/フィルムマウンター UH114&UH115の仕様

入力 AC100V 3A
温度制御 室温〜200℃
真空源 300Torr
寸法 6インチタイプ: H220mm x W370mm x D730mm
8インチタイプ: H290mm x W490mm x D780mm
重量 約23kg

UH115には、下記のオプションがございます。

■ エッジコンタクトステージ : ウェハーをエッジだけで支えるので、表面に触れることなく貼り付ける事ができます。

■ イオナイザー

■ エアフィルター

■ コンバム

標準装備:セパレータ巻取り機構



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