UVオゾン洗浄装置 Model 144AX

環境にやさしい、エコなクリーナー

Model 144AX は、平面水銀ランプから紫外線を照射。
この照射エネルギーと生成されるオゾンを利用し、有機化合物を分解・酸化させて汚れを除去します。
ワーク表面に熱や摩擦によるダメージを与えず、洗浄も効率的。ゴミ・ちりの再付着や、有機化合物による汚染の心配もありません。

湿式洗浄よりも高い洗浄力

本装置は、湿式洗浄よりも効果的な洗浄力が自慢のひとつ。（ ＊下部処理条件の表を参照下さい。）
超純水のリンス前に光洗浄を加えると、油性の汚濁膜が取れ、粘着した微細なホコリも、すすぎ洗いで除去出来ます。

【 接触角とは？ 】

洗浄表面に試薬水をたらし、その湿り具合で評価。 およそ30〜60秒ほどの紫外線の照射で、接触角は各段に低下。
接触角「4度」とは、有機化合物の膜が単分子以下になった状態を意味します。

半導体分野以外にも、様々な洗浄用途に応用いただけます。

■　電子材料、液晶、自動車、家電、ETC等でも使用可能

■　セラミック基盤、液晶ガラス、ブラウン管、磁気ヘッド、クロム膜等の密着性向上や表面改質

■　Si ウェハ、GaSa ウェハ、レンズ、ミラー、太陽電池パネル等のクリーニング、密着性の向上

■　ダイシングテープの粘着性の低減 （※種類によって、粘着性が向上するものもあります。）

■　レジストのハードニング促進、アイシング、残カス除去

■　FPD/PDPのクリーニング

■　ウェハの酸化層の増大

■　EPROM、メモリの中性化

■　各種材質のクリーニング、密着度向上、酸化増強、硬化など

■　バイオケミカルの殺菌等

オプション機能

■　Suprasil UV Lamp（ 合成石英ガラス紫外線ランプ )
　　　紫外線短波長184.9nmの透過率は、標準ランプが65％のところ、本ランプは90％
　　　オゾンの生成率が２倍にアップされており、クリーニング時間も短縮。

■　オゾン キラーユニットは、排気ダクトからのオゾン排出を避けたい方に（ 排気ユニットと併用 ）

■　排気ユニットを装備すれば、排気設備のない場所でもご使用可能に。
　　　オゾンキラーユニットとの併用で、オゾン臭も気になりません。

■　トレイのサイズも各種取り揃えております。( 単位：mm ）（ 下部トレイサイズ表をご参照下さい。）

■　紫外線照度計入力：　AC100V 12A

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