気密封止どんなに微量であったとしても、大気中の水分や不純物の 除去を必要とするTOなどのパッケージ、デバイスやセンサー。 これらを気密封止するとしたら、どのような方法を想像されますか？ 弊社では、真空内で封止（溶接）する方法のひとつとして ハーメチックシール・直上型ヘッドを使用。 真空引きにかかる時間は小型チャンバーによって短縮され 窒素雰囲気にも対応。 デバイスに対し、均一に加圧力がかかるこのヘッドは 高い加圧もかけられる上にコンパクト。 平行度に重きを置かれる気密封止などにその機能を発揮します。 |
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